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显影液 光刻为什么在黄光区进行

光刻采用的是紫外光,其中黄光区波长为365纳米,这个波长能够被光刻胶所吸收,引起化学反应。

同时,黄光区是紫外光的一种极常用的波长段,因为事先准备较为完备的黄光区光刻胶和显影液,使用起来更加方便和经济,能够提高光刻制造效率。

此外,黄光区的光刻制造技术也得到了较为广泛的应用。

因此,光刻在黄光区进行是出于多重考虑而得出的最优选择。

显影液

中文名显影液

温水30~45℃

无水亚硫酸钠45g

米吐尔3g

主要成分硫酸、硝酸及苯、甲醇、卤化银、硼酸、对苯二酚等

参数显影液的浓度是指显影剂的相对含量,即NaOH、Na2SiO3总含量。市场上销售的显影液多是浓缩型液体,使用时需要按比例稀释,显影液的浓度多以显影液的稀释比来表示。在其他条件不变的前提下,显影速度与显影液浓度成正比关系,即显影液浓度越大,显影速度越快。当温度22℃,显影时间为60秒时,PD型显影液浓度对PS版性能的影响见表1(略)。从表中数据可看出,以3级干净为准的曝光量,PD型显影液浓度以1∶6为最佳。当显影液浓度过大时,往往因显影速度过快而使显影操作不易控制;特别是它对图文基础的腐蚀性增强,容易造成网点缩小、残损、亮调小网点丢失及减薄涂层,从而造成耐印力下降等弊病;同时空白部位的氧化膜和封孔层也会受到腐蚀和破坏,版面出现发白现象,使印版的亲水性和耐磨性变差。显影液浓度大,还易有结晶析出。当显影液的浓度偏低时,碱性弱,显影速度慢,易出现显影不净、版面起脏、暗调小白点糊死等现象。

常见问题a、显影不完全(Incomplete Development)。表面还残留有光刻胶。由显影液不足造成。

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